電子半導(dǎo)體行業(yè)制造中監(jiān)控超純水中SiO2含量
測量范圍:0-1000ppb SiO2或0-5000ppb SiO2, 重現(xiàn)性+0.5ppb/+2ppb
檢測極限 <0.5ppb/2ppb, 循環(huán)時間 10分鐘(每通道)
運行壓力/溫度0.2-2bar/5-50 ºC,取樣流量15-20 L/h
通信方式:RS485,模擬輸出4-20mA
多通道操作(1-6)
運行維護量小和極低的運行成本
可進行兩點校準:化學(xué)零點和斜率
內(nèi)置數(shù)據(jù)記錄儀,簡單友好的用戶菜單